Στόχοι ψεκασμού χαλκού υψηλής καθαρότητας – Τετράγωνοι (4N-6N)
Στόχος ψεκασμού χαλκού υψηλής καθαρότητας – Δήλωση διασφάλισης διαδικασίας και ποιότητας
Οι τετράγωνοι στόχοι ψεκασμού χαλκού μας κατασκευάζονται σύμφωνα με τα αυστηρά πρότυπα που απαιτούνται για αξιόπιστη εναπόθεση λεπτής μεμβράνης σε προηγμένες διαδικασίες επίστρωσης.
Η παραγωγή ακολουθεί μια αυστηρά ελεγχόμενη ροή εργασίας βασισμένη σε κενό αέρος για τη διατήρηση εξαιρετικά υψηλής καθαρότητας και συνοχής υλικού:
●Επιλογή Πρώτης Ύλης: Ως πρώτη ύλη χρησιμοποιούνται μόνο πιστοποιημένες ηλεκτρολυτικές κάθοδοι χαλκού (≥99,99%).
● Τήξη υπό κενό: Η επαγωγική τήξη υπό υψηλό κενό ή αδρανή ατμόσφαιρα ελαχιστοποιεί την πρόσληψη οξυγόνου και τις πτητικές ακαθαρσίες.
●Χύτευση & Ραφινάρισμα: Η ελεγχόμενη κατευθυνόμενη στερεοποίηση παράγει πλινθώματα με ομοιογενή σύνθεση και ελάχιστο διαχωρισμό.
●Ενθερμή κατεργασία: Η σφυρηλάτηση ή η θερμή συμπίεση επιτυγχάνει σχεδόν θεωρητική πυκνότητα και εκλεπτυσμένη δομή κόκκων.
●Κατεργασία ακριβείας: Η άλεση και η λείανση με CNC παράγουν ακριβείς τετραγωνικές διαστάσεις με επίπεδες, παράλληλες επιφάνειες.
● Φινίρισμα επιφάνειας: Η στίλβωση πολλαπλών βημάτων προσφέρει φινίρισμα που μοιάζει με καθρέφτη, κατάλληλο για χρήση σε καθαρό χώρο.
●Προαιρετική συγκόλληση: Διατίθεται συγκόλληση ινδίου ή ελαστομερούς σε πλάκες υποστήριξης μολυβδαινίου/χαλκού για θερμική διαχείριση.
●Τελικός καθαρισμός & συσκευασία: Καθαρισμός με υπερήχους σε εξαιρετικά καθαρό νερό, ακολουθούμενος από σφράγιση κενού αέρος σε καθαρές σακούλες διπλής στρώσης.
Σύστημα Ελέγχου Ποιότητας
● Πλήρης ιχνηλασιμότητα από την παρτίδα ακατέργαστων καθόδων έως τον τελικό στόχο
● Πιστοποιητικά υλικών και αναφορές δοκιμών που παρέχονται με κάθε αποστολή
● Διατήρηση δειγμάτων αρχείου ≥3 ετών για επαλήθευση από τρίτους (SGS, BV, κ.λπ.)
● 100% έλεγχος κρίσιμων παραμέτρων:
• Καθαρότητα και ακαθαρσίες (ανάλυση GDMS/ICP-MS· τυπικό οξυγόνο <10 ppm)
• Μέτρηση πυκνότητας (μέθοδος Αρχιμήδη· ≥99,5%)
• Μέγεθος κόκκων και μικροδομή (μεταλλογραφική εξέταση)
• Ακρίβεια διαστάσεων (CMM· επιπεδότητα ≤0,05 mm τυπική)
• Τραχύτητα και ελαττώματα επιφάνειας (προφιλόμετρο + οπτική επιθεώρηση)
● Οι εσωτερικές προδιαγραφές υπερβαίνουν τις απαιτήσεις ASTM F68. Τυπικές ιδιότητες: Θερμική αγωγιμότητα >390 W/m·K, Ηλεκτρική αντίσταση <1,7 μΩ·cm, Συνεπής ρυθμός ψεκασμού και ποιότητα φιλμ.
● Οι διαδικασίες που είναι συμβατές με καθαρούς χώρους και οι εγκαταστάσεις με πιστοποίηση ISO 9001:2015 διασφαλίζουν ότι κάθε στόχος ανταποκρίνεται στις απαιτητικές ανάγκες των σύγχρονων εφαρμογών PVD.










